تولید قطعات در ابعاد میکرونی که معمولا از مهمترین آن ها می توان به ساخت مجموعه قطعات سنسور ها، ادوات MEMS و چیپ های میکروفلویدیک اشاره نمود به صورت روز افزونی در حال گسترش می باشد. جهت ساخت این ادوات نیاز به حد اقل تجهیزاتی مانند اسپین کوتر (جهت لایه نشانی ماده حساس به نور) ، لیتوگرافی (جهت ایجاد الگو بر روی زیرلایه)، اچینگ (جهت برداشتن لایه از زیرلایه)، اسپاترینگ (جهت ایجاد لایه های فلزی و غیر فلزی در ابعاد نانومتری) می باشد.
تمامی این تجهیزات توسط این مجموعه بارها ساخته و بهینه سازی شده است. این مجموعه ای تجهیزات نیز به عنوان خط تولید در ابعاد میکرونی و خط تولید میکروفلولیدیک ارائه می گردد. به جرات می توان گفت که این مجموعه تنها تولید کننده تجهیزات خط تولید ساخت در ابعاد میکرونی در داخل بوده و در دنیا نیز منحصر به فرد می باشد.
Reviews
There are no reviews yet.